Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/ 轮廓测量装置)
525系列 — CNC 表面粗糙度和轮廓测量系统
| ●高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。 |
| ●X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。 |
| ●X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。 |
| ●Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。 |
| ●Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。 |
| ●CS-5000CNC带有a轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。 |
| ●带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。 |
| ●可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。 |
| 货号 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC |
| X1 轴 | 测量范围 | 200mm |
| 分辨力 | 0.00625μm |
| 长度基准 | 激光全息测微计 |
| 驱动速度 | CNC型 | 最大40mm/s |
| 操纵杆 | 0 - 40mm/s |
| 测量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓) |
| 测量方向 | 向前/ 向后 |
| 直线度 | (使用标准测针) | (0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | (0.05+0.0003L)μm L: 驱动长度 (mm) |
| (使用二倍长型测针) | (0.2+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | (0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) |
| 精度（20℃） | ±(0.3+0.002L)μm L: 驱动长度 (mm) | ±(0.16+0.001L)μm L: 驱动长度 (mm) |
Z1 轴
(检出器 | 测量范围 | (使用标准测针) | 12mm | 12 μm |
| (使用二倍长型测针) | 24mm | 24 μm |
| 分辨力 | (使用标准测针) | 0.004 μm | 0.001 μm |
| (使用二倍长型测针) | 0.008 μm | 0.002 μm |
| 测针针尖垂直运 | 弧形移动 |
| 长度基 | 激光全息测微计 |
| 精度 (20oC) | ±(0.3+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) |
| 测力 | (使用标准测针) | 4mN (固定) |
| (使用二倍长型测针) | 0.75mN (固定) |
| 跟踪角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度) |
| 测针针尖形状 | 标准测针 | 针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 |
| 标准球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 |
| 2倍测针 | 针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 |
| 2倍测针 | — | 针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 |
| 2倍球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 |
| 测针方向 |
| 向下 |
Z2 轴
(立柱) | 行程范围 | Z2 轴 (立柱, S 型) | 300mm |
| Z2 轴 (立柱, H 型) | 500mm | — |
| 分辨力 | 0.05 μm |
| 长度基准 | 反射型线性编码器 |
| 驱动速度 | CNC型 | 最大200mm/s |
| 操纵杆 | 0 - 50mm/s |
| 基座尺寸 (W×D) | 750×600mm |
| 基座材 | 花岗岩 |
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带十字移动的调水平工作台 | 精密卡钳 | V型块 |
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带夹钳的V型块 | 调心快速卡盘(滚花环固定) | 微型快速卡盘 |
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旋转工作台θ1 轴工作台 | 润滑油 | 旋转工作台θ2轴组件 |
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测量控制 仅单次测量时有单独模式、建立工件测量程序，对同一工件进行多个测量时有学习模式，具备多用途的可选模式。针对CV-4500 系列的上下两面连续测量和测力可变等新功能(详细内容请参见P1)，提高了使用方便性。 | 按钮编辑功能
任何暂时不用的按钮或显示域可以出现也可以人为地将其隐藏起来，以便使操作者依照方便与否自行规划屏幕。 |
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标准配备轮廓比对功能
标准配备让设计数据和测量数据坐标移动到最佳位置的最佳拟合功能。检验结果不仅限于可视化图像显示，还可以显示各坐标上的误差量、误差量展开。由于可以输出文本文件格式，也可以用在向加工机的反馈数据等。 | 简单间距计算功能
螺纹的间距、圆之间的间隔(圆心间距) 等多个同一形状的间距分析，只需要操作鼠标指定范围便可简单地进行分析，能有效提高分析效率。 |
