超高精度CNC三坐标测量机
MICROCORD LEGEX 系列
产品特点
◇LEGEX系列为超高精度CNC三坐标测量机，具有世界上最高精度水平，对所有可能产生误差
的因素进行严格分析并消除或最大程度地降低其影响。
◇固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和超高几何精度。
采用FEM结构分析模拟的彻底测试保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降
至最小。另外，其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中，实现了超高精度。
◇配备有三丰超高精度标尺、热膨胀系数几乎为零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高
性能的反射型线性编码器。为其完美性能提供了卓越的位置检测功能。
◇LEGEX高精度系列三坐标测量机配有温度补偿功能，因此设置环境不需要恒温控制室，
就可以在18-22oC的温度范围内保证主机精度。
◇提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持超高精度测量，如要求
高尺寸精度的齿轮、轴承、透镜、硬模或滚动转子。
产品规格
标准CNC 三坐标测量机
MICROCORD CRYSTA-Apex S500/700/900 系列
| 型号 |
| LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | LEGEX 12128 |
| 测量范围 | X轴 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm | 1200mm |
| Y轴 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | 1200mm |
| Z轴 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | 800mm |
| 测量方法 |
| 超高精度线性编码器 |
| 最大测量速度 |
| 200mm/s |
| 最大加速度 |
| 1000mm/s2 |
| 分辨力 |
| 0.00001mm |
精度
(JIS B7440-2)*1
(2003) | MPEE
【L:测量长度(mm)】 | (0.35+L/1000)μm | (0.6+1.5L/1000)μm |
| MPEP | 0.45μm | 0.6μm |
| MPETHP | 1.4μm | 1.8μm |
| 导向系统 |
| 各轴均采用气浮轴承 |
| 工作台 | 材料 | 铸铁*2 |
| 尺寸 | 550×750mm | 750×750mm | 750×750mm | 950×1050mm | 1250×1250mm |
| 紧固用螺钉孔 | M8x1.25mm (工件固定用) |
| 最大测量高度 |
| 706mm | 696mm | 867mm | 861mm | 1056mm |
| 最大负载 |
| 200kg | 500kg | 500kg | 800kg | 1000kg |
| 重量 |
| 3900kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | 10500kg |
| 空气供给 | 气压 | 0.4MPa*3 | 0.5MPa*4 | 0.4MPa*3 |
| 消耗量 | 120L/min*5?(正常情况下) |
产品选件 | |
SP25M (小形、高精度扫描测头)
外径25mm 的小形高精度多功能扫描测头。不限于扫描测量，还能进行高精度的点测量、向心点测量(附加选择功能) 的多功能扫描测头。安装在能自动调整角度的测头PH10MQ/10M上，能够完成高自由度的测量。 |
|
QVP (视像测头)
从CCD 相机放大的工件的图像数据中，能自动检测边缘的测头。对于不能用接触式测头测量的细微加工品，以及不能施加测力的柔软物体，能够发挥出超强威力。同时也可以通过自动对焦测量高度。 |
 | MPP-310Q (扫描测头)
保持与工件的直接接触状态，按照最大120 mm/s 的速度，一边移动一边高精度地收集坐标值(点群数据) 的测头。由于能与旋转台桌(MRT320) 进行同步扫描，也能有效测量齿轮、 刀片、滚珠丝杠、圆柱凸轮等。 |  | UMAP-CMM 该测头能够使用0.1mm, 0.3mm 的超小直径测针。安装在PH10MQ 上，能够从多个方向进行微组装产品的形状/ 尺寸测量。 |
| |
MPP-10 (测量螺纹有效深度的测头)
世界首次能够在三坐标测量机上测量螺纹有效深度的测头。通过加装自动探测交换系统，能够全自动进行通常的尺寸测量和螺纹有效深度的测量。 | SURFTEST PROBE（粗糙度测头） 可以装配在CNC三座标测量机的粗糙度侧头。由于引进自动探头交换系统，接触式测头和扫描测头（SPM25M)可以自由交换，能够进行尺寸、形状、粗糙度的复合自动测量。还有配有专用软件和多种选件检测器，满足各种测量的需要。 |
产品选件组 | | |
VISIONPAK (画像测量程序)
进行QVP 的控制，以及从读入图像进行各种各样的演算分析的软件。 | GEARPAK (齿轮评价程序)
进行各种齿轮评价的程序。 | SurfaceMeasure 606 (非接触线性激光测头)
CNC 坐标测量机使用的轻量、高性能、非接触线性测头。通过根据环境或材料自动设置适当的激光强度和相机灵敏度来实现无粉末测量，提供更简单更舒适的激光扫描环境。 |
